国产精品国产三级国产an_日韩美女国产日产一级视频夜夜嗨_免费国产在线观看三级_无码av高清特级黄在线观看二区精品_亚洲AV网站三级片A天堂_100款夜间禁用b站视频软件_狠狠色丁香婷婷久久_95三级视频在线观看_国产亚州高清a国产拍精品_国产成人精品自在线播放

產(chǎn)品介紹：

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺，這用于先進封裝制程的particle、有機、無機、助焊劑等污染物清洗?？蛇x配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 

Hot water及蒸氣等清洗方式，清洗工藝視窗寬，清洗能力強，占地面積小，性價比高等特點。 

功能說明：

· 制程均勻度可用 recipe 調(diào)控。

· 良率優(yōu)于 wet bench type。

· 單片模式之機況可控制可追溯。

· 制程個別參數(shù)易于調(diào)整。

· 可控制之藥液量使用,能保持每片晶片之相同制程環(huán)境。

· 潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

· Footprint 較小。

· 這用于 wafer dry in / dry out制程。

· 機臺之安全性優(yōu)于 bench type。

· 為未來濕式高階設(shè)備之主流機臺。

 應(yīng)用范圍：

先進封裝制程，凸塊制程等于鍍膜前、 上光阻前、 蝕刻后、 離子植入后、 CMP后及 flux Clean等晶圓高潔凈清洗制程。