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產(chǎn)品介紹：
全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inch FOUP/FOSB Particles及金屬離子清洗。
設(shè)備配備多級(jí)精密過(guò)濾系統(tǒng)，有效保證潔凈等級(jí)，滿足制程需求class10/100。
配置多種噴淋清洗工藝，可實(shí)現(xiàn)360°清洗，保證制程的高精度清洗需求。
配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率，滿足低濕度要求，濕度實(shí)時(shí)監(jiān)控。（Option）

1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議，SECS/GEM200/300 。
2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對(duì)接。
3.符合SEMI S2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。

應(yīng)用范圍：

該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、 FOSB 、 Cassette的Particle清洗。