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產品介紹：

FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以實現(xiàn)無與倫比的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內360 °正 反轉動。由DI Water的表面張力、機械力進行Particle清洗, 離心＋熱風進行烘干等工藝組成，高效率、高質量完成foup的Particle清洗。

設備特點：

● 多達十段清洗流程設定,工藝窗口更寬；

● 含有自動執(zhí)行狀態(tài)顯示，快速檢視狀態(tài)及工作時間；

● 扭力偵測轉籃卡榫未定位保護，降低因人為導致設備損壞；

● 主軸以伺服馬達控制達到穩(wěn)定加減速及轉速數(shù)值化設定控制；

● 旋轉式離心清洗，可正反調速旋轉，對于產品表面的附著殘留物容易清除；

● 以IR烘烤加速干燥時間,無任何水份殘留；

● 采用一流體(二流體選項)的清洗模式，能有效的去處微小的污染物；

● 操作程序PLC控制可按作業(yè)需求自由調整，方便快捷，人性化設計。

應用范圍：

該設備主要用于半導體制程的Foup、 Fosb 、 Cassette的Particle清洗。